티이엠씨, 美 인테그리스와의 특허 소송 승소…"독자 기술 인정받아"

[서울경제TV=김혜영기자]반도체 특수가스 국산화 선도 기업 티이엠씨(TEMC)는 미국 나스닥 상장사인 인테그리스(Entegris Inc., NASDAQ: ENTG)와의 특허 소송에서 승소하며, 독자적인 기술력을 인정받았다.

티이엠씨(TEMC)는 미국 인테그리스가 자사를 상대로 제기한 반도체 이온 주입용 안전용기 특허 소송에서 승소했다고 1일 밝혔다. 

본 소송은 2020년 12월 티이엠씨가 개발한 안전용기에 대해 인테그리스가 서울지방법원에 특허권침해금지 및 손해배상 소송을 제기하며 시작되었다. 하지만 특허심판원은 티이엠씨측의 손을 들어 해당 특허가 무효함을 심결했고, 이에 따라 처음 서울지법에 제기된 소송도 지난 10월 기각되었다. 이후 추가 항소 없이 약 2년 만에 소송이 완전히 종결됐다. 

해당 특허는 안전용기로 반도체 공정에 사용되는 맹독성의 특수가스 누출을 차단하는 기능을 가진다. 이온주입(Ion Implant) 장비가 운전되는 클린룸(Clean Room) 안에 장착되어 사용한다. 티이엠씨는 독자적 기술을 통해 안전용기(SVC Package, Safety Cylinder Valve) 개발 및 제조의 국산화에 성공하였으며 2021년부터 양산을 시작했다.

유원양 티이엠씨의 대표이사는 “이번 소송 진행을 통해 티이엠씨의 기술이 인정받게 되어 다행이라고 생각한다”고 밝히며, “안정적인 소재 공급을 통해 해외 의존도를 낮추고자 하는 것이 티이엠씨가 궁극적으로 추구하고자 하는 가치”라고 설명했다

한편, 티이엠씨는 지난 11월 코스닥 상장을 위한 예비심사 승인을 받은 바 있다. /hyk@seadaily.com