이재용 부회장, 네덜란드 ASML과 반도체 EUV 장비 협력 논의

[서울경제TV=정훈규기자] 이재용 삼성전자 부회장이 지난 5월 중국 시안 반도체 공장을 방문한 이후 5개월 만에 글로벌 현장 경영을 재개했다. 

삼성전자는 이재용 부회장이 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 피터 버닝크(Peter Wennink) CEO, 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) CTO 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다고 밝혔다. 이번 미팅에는 김기남 삼성전자 DS부문장 부회장도 함께 배석했다.

삼성전자에 따르면 이 부회장과 버닝크 CEO는 이번 만남에서 7나노(nm) 이하 최첨단 반도체 생산에 필수인 극자외선(EUV) 장비 공급계획과 운영 기술 고도화 방안, 인공지능(AI) 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 방안 등에 대해 논의했다. 또 코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망과 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등에 대한 의견을 나눴다. 

이 부회장은 이날 ASML의 반도체 제조장비 생산공장도 방문해 EUV 장비 생산 현황을 직접 살펴보기도 했다.

ASML은 삼성전자의 시스템 반도체 부문 1위 달성에 필요한 EUV 노광장비를 사실상 독점 공급하는 기업이다.

EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 것으로 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 인공지능(AI)·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는데 필수적인 기술이다.

파운드리(반도체 위탁생산) 부문에서 세계 1위인 대만의 TSMC를 추격하며 기술경쟁을 벌이고 있는 삼성전자 입장에선 차세대 반도체 구현을 위해 안정적인 고성능 EUV 장비 확보가 매우 중요하다.

삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해 EUV 기술이 필요하다는 판단에 2000년대부터 ASML과 초미세 반도체 공정 기술 및 장비 개발을 위해 협력해 왔으며, 2012년에는 ASML에 대한 전략적 지분 투자를 통해 파트너십을 강화했다. /cargo29@sedaily.com