블루테크 코리아, 다목적 웨이퍼 자동 선별 분류기 개발 판매 시작

블루테크 코리아(대표 이재남)는 다양한 반도체 회사 및 연구소 등에서 사용될 수 있는 다목적 Wafer Sorter(웨이퍼 자동 선별 분류기)인 ‘BLUELABEL2000’을 개발해 판매를 시작했다.

BLUELABEL Series는 사용자의 목적에 맞게 웨이퍼를 자동으로 분류하고 배열하는 설비로, 반도체 제조 공정 사이사이에 다양한 목적으로 사용된다.

이번에 개발된 Wafer Sorter ‘BLUELABEL2000’은 블루테크 코리아의 관련 특허 10-2017-0089725 및 10-2019-0114216 가 적용되어 같은 설비에서 200mm 및 300mm Wafer 모두를 하드웨어 변경점 없이 사용할 수 있게 되어 보다 목적의 다양성을 넓혔다.

이재남 대표는 “Bluelabel2000의 제원으로, WPH(시간당 웨이퍼 처리수)는 200~250매이며, 3 Axis Brooks社 로봇을 적용해 Repeatability는 R축 <0.3mm, T축<0.02mm, Z축<0.05mm이며 MCBF(Mean Cycle Between Failure)는 약 12(1200만회)로 매우 안정적이다. 이러한 성능은 세계적인 수준에서도 결코 뒤지지 않을 것이다. 다만 높은 네임 벨류에 따른 높은 진입장벽 및 신규 개발 장비에 대해 판매 실적을 요구 받는 현실이 안타깝다.”고 말했다.

블루테크 코리아는 2016년에 설립됐으며 반도체 부품 제작 및 공급하고 로봇 및 로드포트 수리 수선 및 개조 개선을 전문으로 하는 업체다. 외산 로봇 엔드이펙터의 국산화에 성공하고 매해 관련 특허를 2건 이상씩 출원 하는 등 기술 및 제품 개발에 매진하는 벤처 기업이다. / 유연욱 기자 ywyoo@sedaily.com