영우디에스피,10나노급 반도체 웨이퍼 결함 분석 검사장비 개발나서

[서울경제TV=김혜영기자]영우디에스피가 반도체 검사장비 국산화에 앞장선다. 

영우디에스피는 28일 정부가 추진하고 있는 반도체 소부장 국산화의 '10나노 이하 반도체 결함 검사장비용 자외선 렌즈모듈 실장 성능평가 기술개발' 세부주관기관으로 선정됐다고 밝혔다.

영우디에스피의 최종적인 목표는 반도체 DUV 대물렌즈 실장 및 성능평가용 IQC(수입검사)와 검사기 시스템을 개발이다. 영우디에스피가 주관기관으로서 역할을 수행하고 대일시스템, 금오공대, 국민대, 애리조나대가 공동연구개발기관 자격으로 참여한다. 사업 기간은 오는 2024년 말까지이다

영우디에스피는 오는 2022년까지 DUV 대물렌즈 평가를 위한 IQC 시스템을 개발할 계획이며, 2세부 과제에서 DUV 대물렌즈가 개발되면, 이를 실장 성능평가를 할 수 있는 검사기 시스템 역시 개발할 방침이다. 이와함께, 반도체 웨이퍼 10나노급 결함을 분석할 수 있는 검사 기술 개발도 추진한다.

이번 과제를 기반으로 본격적인 반도체 검사장비 사업화도 진행할 방침이다. 국내외 광부품 제조 업체를 대상으로 수입검사용 IQC 시스템의 사업화에도 나설 계획이다. 반도체 웨이퍼 결함분석용 검사장비의 개발을 통해 소재부품을 국산화하고, 글로벌 반도체 업체와의 교류도 더욱 늘려나갈 방침이다. 

박금성 영우디에스피 대표는 “그동안 디스플레이 및 반도체 장비를 개발하면서 축적한 초정밀 광학 설계 및 계측, 검사 알고리즘 및 AI 기술 등을 바탕으로 반도체 초미세 결함 검사장비 개발 및 관련 소재부품 국산화에 최선을 다하겠다”며 "특히 광부품 IQC 시스템과 웨이퍼 결함 분석 장비를 사업화하면 중장기적으로 대규모의 신규 매출이 발생할 것으로 기대되며, 글로벌 반도체 업체들과도 지속적으로 협력을 이어갈 것"이라고 말했다./hyk@seadaily.com