예스티"고압 어닐링 베타 장비 개발 본격화"

[서울경제TV=김혜영기자]반도체 장비 전문기업 예스티는 '고압 어닐링 베타 장비' 개발을 본격화한다고 2일 밝혔다. 베타테스트는 실제 반도체 제조공정 적용을 위한 것으로, 테스트가 성공적으로 진행될 경우 실제 공정 적용을 거쳐 상용화로 이어질 전망이라고 회사측은 설명했다.

예스티는 글로벌 반도체 기업과 고압 어닐링 장비 상용화를 위한 알파 테스트를 진행하고 있다. 베타 테스트는 알파 테스트 결과를 기반으로 기존 장비의 문제점을 개선하고 신뢰성을 높이기 위해 장비를 업그레이드한 후 현장평가를 진행하는 방식으로 진행될 예정이다.

예스티 관계자는 “고객사와 긴밀한 협업을 통해 고압 어닐링 알파 장비의 평가가 순조롭게 진행되고 있다”라며 “알파 테스트를 통해 확보된 데이터를 기반으로 실제 공정에 적용할 베타 장비의 제작도 완료할 것”이라고 말했다. 그는 이어 “본격적인 장비 공급은 내년부터 이뤄질 것으로 예상하고 있으며 고압 어닐링 장비를 글로벌 반도체 생산라인에 반입해 공정 적용 테스트가 마무리되면 바로 장비 공급으로 이어질 것”이라며 “고압 어닐링 장비 상용화가 이뤄지면 반도체 사업부문 매출과 수익성이 큰 폭으로 개선될 것”이라고 강조했다./hyk@seadaily.com