하나머티리얼즈, 러시아와 시스템반도체향 대구경 부품 개발

증권 입력 2019-10-02 09:59:25 이소연 기자 0개

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하나머티리얼즈는 한국산업기술진흥원이 주관하는 대구경 실리콘 소재개발 국책 사업 과제의 총괄 주관기관으로 선정됐다고 2일 밝혔다. 


주관기관으로 선정된 하나머티리얼즈는 소재개발 최적화 시뮬레이션에 대한 높은 기술을 보유한 러시아의 Soft-Impact사와 협약을 체결하고, ‘시스템반도체향 고밀도 플라즈마 장비부품용 대구경 단결정 실리콘 소재개발’ 과제 수행에 본격 착수했다. 양사는 오는 2021년 9월까지 1·2차 과제를 수행할 계획이다. 이번 과제에서 하나머티리얼즈는 대구경 단결정 실리콘의 양산 및 사업화를, Soft-Impact는 최적화된 성장 시뮬레이션을 담당할 예정이다.


하나머티리얼즈 관계자는 “이번 국책사업을 통해 기존의 세라믹 코팅 방식을 사용한 부품을 단결정 실리콘 소재 부품으로 대체해 공정 수율을 향상시킬 수 있는 기술을 개발하게 된다”며 “이를 바탕으로 시스템반도체 공정의 고수율을 달성할 수 있는 부품 제조 원천기술을 확보할 것”이라고 말했다. 회사는 특히 수입 의존도를 낮추고 원가 경쟁력을 강화해 소재 국산화를 달성하고, 해외 점유율 또한 높여가는 것을 목표로 하고 있다. /이소연기자 wown93@sedaily.com

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