하나머티리얼즈, 러시아와 시스템반도체향 대구경 부품 개발
하나머티리얼즈는 한국산업기술진흥원이 주관하는 대구경 실리콘 소재개발 국책 사업 과제의 총괄 주관기관으로 선정됐다고 2일 밝혔다.
주관기관으로 선정된 하나머티리얼즈는 소재개발 최적화 시뮬레이션에 대한 높은 기술을 보유한 러시아의 Soft-Impact사와 협약을 체결하고, ‘시스템반도체향 고밀도 플라즈마 장비부품용 대구경 단결정 실리콘 소재개발’ 과제 수행에 본격 착수했다. 양사는 오는 2021년 9월까지 1·2차 과제를 수행할 계획이다. 이번 과제에서 하나머티리얼즈는 대구경 단결정 실리콘의 양산 및 사업화를, Soft-Impact는 최적화된 성장 시뮬레이션을 담당할 예정이다.
하나머티리얼즈 관계자는 “이번 국책사업을 통해 기존의 세라믹 코팅 방식을 사용한 부품을 단결정 실리콘 소재 부품으로 대체해 공정 수율을 향상시킬 수 있는 기술을 개발하게 된다”며 “이를 바탕으로 시스템반도체 공정의 고수율을 달성할 수 있는 부품 제조 원천기술을 확보할 것”이라고 말했다. 회사는 특히 수입 의존도를 낮추고 원가 경쟁력을 강화해 소재 국산화를 달성하고, 해외 점유율 또한 높여가는 것을 목표로 하고 있다. /이소연기자 wown93@sedaily.com
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