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인베니아, 플라즈마 처리 안테나 장치 특허 취득
디스플레이 장비 전문기업 인베니아가 ‘유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치’ 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 이번 특허는 건식식각장비 상하부 사이에 브릿지 안테
2020-09-25 기자

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