국일그래핀, 8인치 실리콘 웨이퍼에 그래핀 합성 성공
특허 보유한 그래핀 제조기술 활용… 실리콘 웨어퍼에 단층 그래핀 합성 성공
OLED·터치패널·태양전지 등 사용 장점… “다양한 분야로 활용도 ↑”
PET 등 플레시블 소재에도 8인치 이상 대면적 그래핀 합성 진행 중
국일제지는 신소재 그래핀 사업을 추진하는 자회사 ‘국일그래핀’이 8인치 웨이퍼 그래핀 개발에 성공했다고 29일 밝혔다.
국일그래핀은 8인치 웨이퍼 그래핀 개발을 위해 충남대 윤순길 교수팀과 공동 연구를 진행해왔다. 회사 관계자는 “150℃ 이하 저온에서 무전사 직접 CVD 방식을 통해 8인치 대면적 실리콘 웨이퍼 위에 단층(monolayer) 그래핀 합성하는 데 성공한 것”이라며 “분석장비를 통해 8인치 실리콘 웨이퍼에 단층 그래핀이 성공적으로 증착된 것을 확인했다”고 설명했다.
지난해 11월 무전사 CVD 방식으로 4인치 실리콘 웨이퍼 및 플렉시블 PET 필름 위에 단층 그래핀 합성 기술을 발표한 지 6개월만에 또 다시 성과를 이뤄낸 것이다. 앞서 지난 4월에는 신소재 그래핀 제조기술에 대해 미국특허 등록을 완료한 바 있다. 이 기술은 전사 과정을 거치지 않는 무전사 방식으로 그래핀 박막을 형성해 고품질 그래핀을 만드는 획기적인 방법이다. 투명 전극·반도체 디바이스 등의 전극 소자에 적용돼 접는 OLED·유연 터치패널·태양전지 전극 등에 사용될 수 있는 장점을 가진다.
회사 관계자는 “이번 8인치 실리콘 웨이퍼 그래핀 합성 성공으로 인해 앞으로 그래핀이 웨어러블·태양전지·이차전지·배터리 등 다양한 분야의 소재로 활용도가 더 넓어질 것”이라며 “더불어 PET 등 플레시블 소재에서도 8인치 이상 대면적으로 박막 그래핀 합성 진행 중”이라고 강조했다. 이어 “동일한 공법의 양산화 준비를 위한 생산공정에 대해서도 다각도로 검토 중”이라고 덧붙였다. /이소연기자 wown93@sedaily.com
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