에이루트의 반도체 장비 전문 자회사 앤에스알시(NSRC)는 고부가가치 미세공정용 장비 중심 포트폴리오 다변화가 순조롭게 진행되고 있다고 23일 밝혔다. 앤에스알시는 기존 i-line(아이라인), KrF(불화크립톤) 노광장비에 이어 미