에스엔텍, ‘반도체 공정진단시스템’ 사업 초읽기

에스엔텍은 SoW 양산을 위해 시화공단 입주계약을 체결했다고 17일 밝혔다. 

에스엔텍은 해당 공장에 대한 환경 인허가 승인을 획득한 뒤 양산 준비 공사와 국내외 주요 고객사 테스트를 거칠 예정이다. 해당 절차가 마무리도는 가을부터는 양산을 시작한다.

SoW는 웨이퍼 형태로 챔버 내 온도 및 플라즈마 상태를 실시간으로 측정해주는 센서다. 반도체 미세공정화로 제조공정상의 정밀 진단·제어시스템 수요가 확대됨에 따라 시장 성장이 기대되는 소모성 아이템이다.

에스엔텍 관계자는 “SoW는 기존 장비사업 위주의 사업구조를 보완하기 위한 부품·소재사업육성의 일환으로 오랜 기간 준비해 온 아이템 가운데 하나”라며 “글로벌독점 구도를 해소함으로써 반도체 전공정 진단·제어시스템 국산화에 기여하고 싶다”고 말했다. 이어 “SoW 사업을 발판으로 향후 시장 확대 가능성이 큰 정밀공정 진단·제어시스템의 다양한 응용 분야를 장기적으로 개척해가고자 한다”고 덧붙였다. 

한편, 에스엔텍은 최근 ‘플라즈마 측정용 웨이퍼’ 4건에 대한 PCT(특허협력조약) 국제출원을 마친 바 있다. ‘PCT 국제출원’은 다수의 PCT 가입국을 상대로 국제출원일을 인정받음으로써 선(先)출원에대한 우선권을 인정받을 수 있는 제도이다. 이에 앞서 지난 2017년 4월에는 산업통상자원부가 주관하는 ‘실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 시스템 개발’ 국책과제에 선정돼 연구개발을 진행해오고 있다. /이소연기자 wown93@sedaily.com